產(chǎn)品特性：

THA系列主動減振器主要應(yīng)用于一些對微振敏感的高端檢測設(shè)備、精密儀器，以及對穩(wěn)定性要求極高的半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)動平臺。

當(dāng)長行時間的圖像采集和持續(xù)的探針測量，就需要穩(wěn)定的微振解決設(shè)備，比如THA1和THA2。同時一些高端的運(yùn)動平臺也需要主動減振，不但能提供優(yōu)異的減振性能，同時能讓運(yùn)動平臺快速的穩(wěn)定下來，達(dá)到納米級精度，保持設(shè)備的穩(wěn)定性，提高設(shè)備的生產(chǎn)效率，比如THA3系列。






產(chǎn)品特點(diǎn)：

·輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用
·手動/自動調(diào)節(jié)水平，操作簡便
·6自由度振動信號實(shí)時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅

·實(shí)時監(jiān)控臺面振動

產(chǎn)品應(yīng)用：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

傳遞率







規(guī)格參數(shù)








產(chǎn)品特點(diǎn)：

·THA2系列氣浮式主動減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設(shè)備而研發(fā)
·采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性

·三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)6自由度主動減振。前饋控制技術(shù)與反饋控制相結(jié)合，在低頻范圍提供出色的隔振效果

·可選電控自動調(diào)平系統(tǒng)或機(jī)械調(diào)平系統(tǒng)，自動調(diào)整水平，一鍵啟動減振

產(chǎn)品應(yīng)用：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

傳遞率



規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)說明：

產(chǎn)品特性

1. 安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用；

2. 手動調(diào)節(jié)水平，操作簡便；

3. 模塊化的主動減振器，可根據(jù)設(shè)備重量和尺寸，制作成各種平臺；

4. 6自由度振動信號實(shí)時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅；

5. 實(shí)時監(jiān)控臺面振動。

產(chǎn)品應(yīng)用

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等

產(chǎn)品特性

1. THA3系列氣浮式主動減振，為光刻機(jī)等運(yùn)動平臺設(shè)備而研發(fā)，消減大質(zhì)量滑塊運(yùn)動帶來的振動；

2. 采用三思高端型氣浮減振器進(jìn)行基礎(chǔ)隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性；

3.三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)6自由度主動減振。地面振動前饋與反饋控制相結(jié)合，提供出色的隔振效果；；

4. 運(yùn)動前饋與速度反饋控制結(jié)合，有效消減平臺運(yùn)動加速度，快速穩(wěn)定平臺振動；

5. 閥控氣動調(diào)平系統(tǒng)，可自由調(diào)整各減振器高度，一鍵啟動減振。

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備，及高精度、高速度加速度的精密運(yùn)動平臺等

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學(xué)設(shè)備、檢測設(shè)備等靜態(tài)設(shè)備或微動設(shè)備