振動(dòng)是指在基準(zhǔn)位置上產(chǎn)生的機(jī)械式搖動(dòng)，也就是說(shuō)，構(gòu)造物或地板等受動(dòng)態(tài)外力之后，隨著時(shí)間推移，開始從運(yùn)動(dòng)平衡位置產(chǎn)生重復(fù)運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象。在各種振動(dòng)中，地基振動(dòng)是我們能夠感覺到的較重振動(dòng)，但也有很多我們?cè)谌粘Ｉ钪须y以感知的微細(xì)振動(dòng)，這種微細(xì)振動(dòng)會(huì)給半導(dǎo)體工程設(shè)備、電子顯微鏡、精密測(cè)量器、光學(xué)及光學(xué)相關(guān)機(jī)器之類對(duì)振動(dòng)敏感的超精密設(shè)備性能帶來(lái)影響。